首頁 產品介紹 條列顯示 | 圖片顯示 分揀 / 傳送設備 透過機械手進行晶圓的操作, 可進行產品的分揀與傳送, 可選擇搭配各種標準晶圓盒與尺寸 桌上型傳送機 自製小型化設計, 可整合到工業顯微鏡與AOI系統, 以及其他需要從晶圓盒進行傳送之應用, 高速分揀系統 專為高速排序需求所設計之專用機, 較傳統設備高30%以上之效率 Wafer光學量/檢測系統 針對晶圓在製程前後進行顯微量測, 以及表面影像光學瑕疵檢測 3D立體量測設備 透過光學檢測技術, 對於各種產品進行2D精密量測與3D立體輪廓量測