首页 产品介绍 EFEM系统 桌上型传送机 2 桌上型传送机 自制小型化设计, 可整合到工业显微镜与AOI系统, 以及其他需要从晶圆盒进行传送之应用, 主要功能： 晶圆传送 边缘对位 巨观人员检查：360度选转 晶背检查：可翻转 功能特色： 应用於第三代半导体材料 克服透明与半透明材料的寻边对位 可对薄化晶圆进行传送 (>80um) 应用方式： 可搭配各式设备进行传送如 桌上型显微镜 3D量测设备 膜厚量测仪 Wafer AOI设备 4PP 探针量测设备 雷射刻印设备 1479648
