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商品介绍2
  • 分拣 / 传送设备

    透过机械手进行晶圆的操作, 可进行产品的分拣与传送, 可选择搭配各种标准晶圆盒与尺寸


  • 桌上型传送机

    自制小型化设计, 可整合到工业显微镜与AOI系统, 以及其他需要从晶圆盒进行传送之应用,


  • 高速分拣系统

    专为高速排序需求所设计之专用机, 较传统设备高30%以上之效率


  • Wafer光学量/检测系统

    针对晶圆在制程前后进行显微量测, 以及表面影像光学瑕疵检测


  • 3D立体量测设备

    透过光学检测技术, 对於各种产品进行2D精密量测与3D立体轮廓量测