首页 产品介绍 EFEM系统 高速分拣系统 3 高速分拣系统 专为高速排序需求所设计之专用机, 较传统设备高30%以上之效率 主要功能： 晶圆分拣 边缘对位 OCR读取 功能特色： 空间最优化, 为传统设备1/2 高效率作业, 提升30%产能 可支援SEC/GEN 应用於第三代半导体材料 克服透明与半透明材料的寻边对位 1479678
