首頁 產品介紹 EFEM系統 桌上型傳送機 2 桌上型傳送機 自製小型化設計, 可整合到工業顯微鏡與AOI系統, 以及其他需要從晶圓盒進行傳送之應用, 主要功能： 晶圓傳送 邊緣對位 巨觀人員檢查：360度選轉 晶背檢查：可翻轉 功能特色： 應用於第三代半導體材料 克服透明與半透明材料的尋邊對位 可對薄化晶圓進行傳送 (>80um) 應用方式： 可搭配各式設備進行傳送如 桌上型顯微鏡 3D量測設備 膜厚量測儀 Wafer AOI設備 4PP 探針量測設備 雷射刻印設備 1479648
