首頁 產品介紹 EFEM系統 高速分揀系統 3 高速分揀系統 專為高速排序需求所設計之專用機, 較傳統設備高30%以上之效率 主要功能： 晶圓分揀 邊緣對位 OCR讀取 功能特色： 空間最優化, 為傳統設備1/2 高效率作業, 提升30%產能 可支援SEC/GEN 應用於第三代半導體材料 克服透明與半透明材料的尋邊對位 1479678
